OHT-SystemeTestumgebung für kontaktlose Energieübertragung
Paul Vahle hat am Standort Schwoich eine Entwicklungs- und Testumgebung für Overhead-Hoist-Transport (OHT)-Systeme in Betrieb genommen.
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OHT-Systeme transportieren Wafer in geschützten FOUP-Behältern automatisiert durch die Fertigung. © Vahle